任正非曾一針見(jiàn)血指出華為之所以被卡脖子，是因?yàn)樵O(shè)計(jì)出的高端芯片，國(guó)內(nèi)基礎(chǔ)工業(yè)還無(wú)法生產(chǎn)制造出來(lái)，“屋漏偏逢連夜雨”，10月7日，美國(guó)將31家中國(guó)公司和相關(guān)研究機(jī)構(gòu)等悉數(shù)列入實(shí)體名單，嚴(yán)格限制向其出售尖端生產(chǎn)設(shè)備以生產(chǎn)先進(jìn)制程芯片。

美國(guó)用實(shí)際行動(dòng)讓“科技無(wú)國(guó)界”成了笑話，我們也該擯棄與某國(guó)合作共贏的幻想了，唯有自力更生，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的自主，才能徹底擺脫美國(guó)的技術(shù)封鎖，盡管要實(shí)現(xiàn)這一步，難度不亞于登天，但好在，集成電路這么復(fù)雜的產(chǎn)業(yè)鏈，也并不是美國(guó)一人說(shuō)得算，任總的話其實(shí)只說(shuō)對(duì)了一半……

“1粒米上刻1億個(gè)字”？這位傳奇大佬做到了！

“我們現(xiàn)在可以在一個(gè)米粒上刻1億個(gè)字”說(shuō)出這句“狂言妄語(yǔ)”的不是別人，而是傳奇海歸大佬、中國(guó)“刻蝕機(jī)之父”尹志堯，他60歲從美國(guó)空手歸來(lái)，一手創(chuàng)辦的中微公司，如今已成為世界級(jí)刻蝕巨頭，并且因?yàn)榧夹g(shù)專利完全自主研發(fā)，連美國(guó)都無(wú)可奈何，只能白名單放行。

不過(guò)長(zhǎng)久以來(lái)，大多數(shù)網(wǎng)友都沒(méi)聽(tīng)過(guò)尹志堯的鼎鼎大名，這與媒體選擇性渲染光刻機(jī)的卡脖子問(wèn)題不無(wú)關(guān)系，直接導(dǎo)致了大眾忽視了刻蝕機(jī)的重要性，實(shí)際上，在芯片制造流程中，有三大最主要生產(chǎn)技術(shù)，分別為光刻技術(shù)、刻蝕技術(shù)與薄膜沉積技術(shù)，對(duì)應(yīng)得設(shè)備為光刻機(jī)、等離子體刻蝕機(jī)與薄膜機(jī)，這些主要生產(chǎn)設(shè)備缺一不可，而薄膜機(jī)目前不存在卡脖子問(wèn)題，刻蝕機(jī)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)自主，早就具備了5nm高端芯片的刻蝕條件，臺(tái)積電、中芯國(guó)際等都是中微的客戶，所以任總說(shuō)國(guó)內(nèi)無(wú)法生產(chǎn)制造出海思設(shè)計(jì)的高端麒麟芯片，其實(shí)只說(shuō)對(duì)了一半——我們已經(jīng)搞定尖端SoC的自主刻蝕了，而完成這歷史性一步，最大的功臣，便是尹志堯。

為了讓讀者對(duì)大佬的有一個(gè)更豐滿立體的認(rèn)知，照例，我們先來(lái)一段尹志堯的高光履歷表：

1944年出生的尹志堯，可以說(shuō)是名門之后，其父是在日本留學(xué)歸來(lái)報(bào)效社國(guó)的著名電力化學(xué)專家，也許是耳濡目染，尹志堯自幼就對(duì)化學(xué)科學(xué)產(chǎn)生濃厚的興趣，并因?yàn)槌煽?jī)優(yōu)異，屢獲獎(jiǎng)學(xué)金；

1962年，尹志堯順利考入了（后來(lái)）被譽(yù)為化學(xué)專業(yè)天花板的中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)，畢業(yè)后，尹志堯先后被分配到蘭州煉油廠和中科院蘭州物理化學(xué)所工作，這一干就是10年，不過(guò)，尹志堯還想在專業(yè)上進(jìn)一步夯實(shí)自己，他并不滿足于衣食無(wú)憂的鐵飯碗，內(nèi)心總有一個(gè)干大事的聲音在呼喚；

1978年，尹志堯利用業(yè)余時(shí)間學(xué)習(xí)，順利考入北大化學(xué)系，當(dāng)參觀到當(dāng)時(shí)國(guó)內(nèi)最先進(jìn)的計(jì)算機(jī)之時(shí)，尹志堯大受觸動(dòng)，內(nèi)心埋下了對(duì)半導(dǎo)體一腔摯愛(ài)的火種，取得北大化學(xué)碩士學(xué)位后，又前往美國(guó)加州大學(xué)讀博深造，僅3年時(shí)間并拿下物理系博士學(xué)位；

1983~1985年，尹志堯以工程師身份供職于硅谷英特爾公司，英特爾中心研究開(kāi)發(fā)部，是他在硅谷職業(yè)鍍金生涯的起點(diǎn)，這一階段眼界和能力的開(kāi)拓，為尹志堯后續(xù)的事業(yè)騰飛埋下了伏筆；

1986年，尹志堯被LAMReasearch相中，加入LAM，僅僅花了5年時(shí)間，就帶領(lǐng)LAM走上世界之巔，成為全球最大的刻蝕機(jī)公司，彼時(shí)LAM的市場(chǎng)份額，一度高達(dá)40%，LAM一將功成，尹志堯也名氣大振，多家頂級(jí)公司均向他伸出橄欖枝，其中就包括著名的應(yīng)用材料公司、如今的半導(dǎo)體設(shè)備頭號(hào)大廠AMAT。

彼時(shí)的AMAT趁LAM管理動(dòng)蕩之際，一舉將尹志堯吸入麾下，此后的十幾年，有了尹志堯的加盟，AMAT如虎添翼，很快就躋身全球第一大刻蝕機(jī)公司之位，并且營(yíng)收規(guī)模遙遙領(lǐng)先頭號(hào)光刻機(jī)大廠ASML。

可以說(shuō)在上世紀(jì)80年代到2004年，是尹志堯職業(yè)生涯大放異彩的黃金二十年，他從一個(gè)小小的工程師起步，愣是干到了全球刻蝕機(jī)霸主的副總裁，不夸張地講，全世界有一半的人都在用由他（參與）主導(dǎo)開(kāi)發(fā)的設(shè)備。

2004年，已身居全AMAT副總裁高位的尹志堯毅然決然地辭職，帶領(lǐng)15名心腹大將，回到中國(guó)，并于同年創(chuàng)辦中微半導(dǎo)體設(shè)備公司，然后便有了開(kāi)頭的故事。

十年磨劍，科技報(bào)國(guó)

60歲歸國(guó)創(chuàng)業(yè)，尹志堯的決心日月可鑒，不過(guò)，在上海創(chuàng)辦中微的頭幾年，他惹上的麻煩就沒(méi)斷過(guò)，LAM和AMAT等前東家們多次以莫須有的“攜帶技術(shù)機(jī)密”回國(guó)為由，起訴中微，妄圖將尹志堯科技報(bào)國(guó)的理想扼殺在搖籃里，但最終，他們都失算了……

打鐵還需自身硬，尹志堯從美國(guó)走得干干凈凈，幾乎是空手回國(guó)，沒(méi)有攜帶任何紙質(zhì)或電子檔的相關(guān)技術(shù)資料，因?yàn)橐緢蚝蛨F(tuán)隊(duì)們篤信，我在美國(guó)能創(chuàng)造發(fā)明出一系列技術(shù)專利，我同樣回國(guó)后，也能通過(guò)原創(chuàng)自主技術(shù)大施拳腳，果然泛林和應(yīng)用材料兩大巨頭對(duì)中微發(fā)起的連番訴訟，最終都無(wú)一例外敗北了，老美經(jīng)過(guò)反復(fù)審查，發(fā)現(xiàn)確實(shí)找不到中微的一丁點(diǎn)把柄后，遂對(duì)其開(kāi)放了白名單（中微可以供貨美國(guó)公司和世界各地），尹志堯不僅未被卡脖子，還意外獲得了世界通信證，創(chuàng)造了中國(guó)半導(dǎo)體歷史。

掃除障礙后，尹志堯率領(lǐng)團(tuán)隊(duì)日夜兼程，苦拼十幾載，終于將中微公司推到了全球刻蝕設(shè)備五大供應(yīng)商之列，徹底填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)高端蝕刻設(shè)備的空白，中微的技術(shù)實(shí)力有多強(qiáng)悍呢？

截至2021年底，中微累計(jì)申請(qǐng)專利2012項(xiàng)，其中發(fā)明專利高達(dá)1741項(xiàng)，實(shí)用新型專利251項(xiàng)，其余專利20項(xiàng)，發(fā)明專利占比近90%，值得一提的是，僅尹志堯個(gè)人，就斬獲了400多項(xiàng)國(guó)內(nèi)外專利，一流的研發(fā)實(shí)力與智慧成果產(chǎn)出能力，成了中微最大的底氣。

所謂藝高人膽大、能者亦多勞，尹志堯的中微團(tuán)隊(duì)，還曾于2017年參與到華為海思麒麟970芯片的研發(fā)，對(duì)華為AI芯片的迭代進(jìn)化，起到了至關(guān)重要的作用，當(dāng)然，這是后話了。

2018年4月，中微率先突破5nm刻蝕技術(shù)，在業(yè)界引發(fā)轟動(dòng)，不過(guò)彼時(shí)不少媒體和自媒體卻以博眼球?yàn)槟康?，毫不?fù)責(zé)地稱“我們已突破5nm芯片制造工藝”，這一度讓尹志堯很苦惱，因?yàn)樗靼?，科研人最該有一說(shuō)一，腳踏實(shí)地，中微可以刻蝕5nm高端芯片了，但是并不表示，我們可以無(wú)懼美國(guó)制裁了，因?yàn)?，把IC設(shè)計(jì)圖案“印制”到化學(xué)薄膜上還需要依賴ASML 的EUV光刻。

2021年4月，尹志堯在楊瀾訪談錄節(jié)目《逐風(fēng)者》中透露，中微3nm刻蝕機(jī)Alpha原型機(jī)的設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試及初步的工藝開(kāi)發(fā)和評(píng)估等系列工作已完成，在尹志堯看來(lái)，摩爾定律就是要被不斷打破的，他表示他和半導(dǎo)體行業(yè)的從業(yè)者們，還在全力沖擊2nm、1nm的物理極限，“我們的刻蝕機(jī)其實(shí)已經(jīng)刻到一兩個(gè)原子這樣的準(zhǔn)確度”，這大抵就是無(wú)雙的技術(shù)自信吧！

當(dāng)然，中微為我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的自主做出了重要的貢獻(xiàn)，國(guó)家更是沒(méi)虧待過(guò)它，甚至可以說(shuō)自尹志堯歸國(guó)創(chuàng)業(yè)時(shí)，就高度重視，并且持續(xù)大力扶持，僅有據(jù)可查的真金白銀就有國(guó)家大基金一期投資（具體數(shù)額不詳，保守估計(jì)10億以上）和高達(dá)25億的大基金二期投資。

不過(guò)，這也是尹志堯和中微該得到的優(yōu)待，投資這樣一個(gè)自主刻蝕龍頭，總比把海量資金砸給那些個(gè)騙補(bǔ)貼的芯片項(xiàng)目要靠譜一萬(wàn)倍吧？

截至2022年6月末，尹志堯持股620萬(wàn)股，占公司已發(fā)行股本的1%，中微給尹志堯開(kāi)出的薪酬也很有誠(chéng)意，高達(dá)669.68萬(wàn)元，當(dāng)然，哪怕是千萬(wàn)年薪，都不為過(guò)，因?yàn)橄褚緢?、梁孟松這些技術(shù)大佬，創(chuàng)造出的直接經(jīng)濟(jì)價(jià)值，都是億計(jì)的，對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的貢獻(xiàn)和深遠(yuǎn)影響，更絕非金錢可衡量的。

中微和尹志堯的傳奇故事還在繼續(xù)，接下來(lái)，我們就該展望上微在自研光刻機(jī)領(lǐng)域上帶給我們的驚喜了，相信有這樣一群立志報(bào)國(guó)的頂級(jí)科學(xué)家和企業(yè)家們，我們徹底擺脫美國(guó)的技術(shù)封鎖，只是時(shí)間早晚！

未來(lái)的第一科技強(qiáng)國(guó)，必將屬于中國(guó)！

參考資料：

經(jīng)濟(jì)觀察報(bào)、中微公司公開(kāi)報(bào)道、楊瀾訪談錄等，圖源網(wǎng)